三氯氧磷是一種無機化合物，分子式為POCl
3，為無色透明發煙液體。易揮發，有強烈的刺激氣味。露於潮濕空氣中，水解為磷酸和氯化氫，發生白煙。易被水和乙醇分解，並放出大量熱和氯化氫。有強腐蝕性。
三氯氧磷是一種重要的化工原料，為無色透明發煙液體，廣泛應用於農藥、醫藥、染料、磷酸酯及阻燃劑的生產，是製造有機磷農藥除草劑、殺蟲脒等的原料，也用於生產塑料增塑劑，還可用於長效磺胺藥品的氯化反應，是生產染料的中間體、有機合成的氯化劑和催化劑以及鈾礦的提取劑等
分子量153.33。比重1.675。蒸氣比重5.3。熔點2℃。沸點105.3℃。液體遇冷水、酒精或強酸即分解。其蒸氣在空氣中被水蒸氣分解成磷酸與氯化氫。用於化工、製藥、塑料、染料及電子工業。
蒸氣壓（kPa）：5.33（27.3℃）
溶解性：溶於醇，溶於水。
危險特性：遇水猛烈分解, 產生大量的熱和濃煙, 甚至爆炸。對很多金屬尤其是潮濕空氣條件下有腐蝕性。
禁配物：強還原劑、活性金屬粉末、水、醇類。
用途：
用於製取磷酸二苯-異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑劑，有機磷農藥，長效磺胺藥物等。還可用作染料中間體，有機合成的氯化劑和催化劑，阻燃劑。電子級三氯氧磷的用途在太陽能行業，集成電路，分離器件，光線預製棒等液態磷源也可製備磷酸酯。在半導體行業主要用於N型摻雜源，在0℃反應效果好。
